JB/T 8945-1999
基本信息
标准号： JB/T 8945-1999
中文名称：真空溅射镀膜设备
标准类别：机械行业标准(JB)
英文名称： Vacuum sputtering coating equipment
标准状态：现行
发布日期：1999-07-12
实施日期：2000-01-01
出版语种：简体中文
下载格式：.rar.pdf
下载大小：KB
标准分类号
标准ICS号：流体系统和通用件>>23.160真空技术
中标分类号：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
关联标准
出版信息
页数：7 页
标准价格：12.0 元
相关单位信息
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
标准简介
JB/T 8945-1999 JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备 JB/T8945-1999 标准下载解压密码：www.bzxz.net
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标准内容
IE'S23.160
中华人民共和国机械行业标准
JB/T8945-1999
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant1999-07-12 发布
国家桃械工业局
2000-01-01 实施
JB/T 8y45—5999
本标准由全国真空技术委员会提出并口。本标准起草单位：！东真空设备厂股份有限公司、上像点空系厂、沈阳真再室技示研究所本标准士要起草人：藜东锋、张选青，本春影、李卡英。范围
中华人民共和国机械行业标准bZxz.net
真空溅射镀膜设备
Vicuzm spulering cogtiag pluntJB/8945—1999
本标消规定了点空法射惑设备的型号和基不参数，技术要求。试小法。检验规则、标志，装，运愉和年等
本标准适用于力在1×10-5×10Pa范用的真孕贱射镜膜设备以下两你设各2引用标准
下列标准所包含的条文，道过在本标准市引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为右效。所右标准都会被整汀，使用本标准的各方成探对使用下列标准录新版本的可能性。GB11—1590
GB/160701995
GB:T 111641999
GR/T 13306J991
IR/T 1090-.1991
J/T I091—1991
JB/T 1092—1991
JB/T 7673—1995
3型号与基本数
包装储运图示称志
真空法兰
真空镀膜投各通用变术条件
1型真究用橡胶密封圈
型和骨架型真空用橡胶密封图型式及尺小0型点空用橡胶耐型式及尺十
真空设备压号编制开法
3.1设备的型号应符合JB门7673的规定，3.2设备的基本参整应符合表[的规定表 1 基本步数
愁数名称
努限正力
恢复真空抽气时向
升乐率
凝研电流空化中
家机械工业局1999-07-12批准
:5×10rl
从大气乐会710
其大气会 7 ×10 [a
± 5%
2000-01-01实施
4热术要求
4. 1没设备止带工作案件
4.1.1 温度：10-30:
4.1.2相对滤度：-小大于75%：
4.1.3冷起水进水温度：不高于25，8/8945-
4.1.4冷扫水质尽：城市自来水或质量排1当的水，4.1.5供电申源：380V，三相四线制，5UHz，电压浪范雨：361-399V，额率动范制：49-51H7.4.1.6环境：室内应整站；地面、大花板及效备州删塔壁应十净：空气清洁，不应有可！起电器及其他金具件表面商独或引起企消间导心的尘埃变气体存在4.2结均要求
4.2.！设备丰静、动涉封两的结料形式及尺小应符合GD6070和IB.T1090~1092的规定。4.2.1点空管其上和刨强室靠近排气口位置上应装没真空测试规管，分别阐阻各部位的压力。4.2.3加果设备以满扩敦泵或油扩胶喷射泵为主泵，应在儿进气一侧安装油蒸气拥集研。4.2.4膜室应设有规察窗、时在镀膜过程中发生射线的没备，观衰盘上成加装防射线情片。4.3制造所量
设备的影造质量要求按GB.T11164—1999中4.4，4.4安全防护要求
设备的安全防变求按164.[9中4.5。5试验方法
5.1极限透力
5.1.1试验条件
）镀麟室内为空载（即不改签镀物品：也不进行射），不得拆去设备正常工作时应安装的溅射源、件支器等部；
b）真空测型现首应装于膜室靠近气11位置二；）分许在轴气过程中用改备本身配有的而热或击装对键融室进行除气5.1.2谢试方法
按G日11164—1999中的2.2
5.1敏膜室嵌效点空抽气时而
5.2.1试验条性
接 5.1.1.
5.2.2测试方法
按GB11164—1999的52.2.
5.3升压
5. 3. 1试验案件
按5.1.1。
5.3.2试验方法
按G/1641999的5.3.2
5.4既射电流的变化率
JI/T 8945-1999
设备在链膜过中，阴提稳定工作后：测得碑息电流在3m税周内（若蚀膜过程少于3mn，则在整个膜过程内！的变化值，并按下式计算变化牵；班
武中：长
遵射电流的变化率：
Farnt - min
fon + fmin
Im正常工作对实测最大溅射电流位，A—正音工作时空测最小殊射电流值：5.5测用仅表设备
5.5.1测毒越限压力，镀膜室恢复真空抽气时间，升压率所使用的真空计应为设备本身配查者，并应在有效期限内
5.5.2测盘溅射电流的变化率所用的电流表成为投备本身配密者，并应在有效期内。6，检验规则
6.！每户设备内领经制造厂盾盘检整部门腰本标准及有关技术文性进行检验，检检合格的投备应附有检验部及检验人员签字的产品合格书方能出」6.2设备的检验分为出厂检验和式抢验6. 2. 1出,一埃验
出！检验成逐竹进行，其检验内等包括3.2及GB/T11164-1999中6.5【除42.1以外）的全部内窖。
6.2.2型式稳验
设备的型或检验项月为3.2及G月T11164中的4.4.4、4.4.6、4.5的全部内穿6.2.2.！设备属于下处情况之一时，应逆行型式检验a）试制的新产品：
b）达奇在设，1艺或材料有重大变史时：c）同类产品的评比定级时；
：求世卫产只每年进行一次定明抛查，每次抽查谚批的15%（不得少于2台），始有一项不合将，购应重新抽联如倍数见的产品进行享扮，如仍有不合格，则进行避台恰验，6.3柠确时的检验方法按第5章的规定进行，7标志包装、运输和贮存
7. 1 标志
每行设备应存儿防显邮位装设标单，标牌成符合（B/13306的规定。其内零应包括制造厂商标」名、地址、设备名称、型号，出厂编号和出厂甘期等，7.2包装
7.2.1设各包装应取防露、防潮，防南等挡施，以确保设备在装卸、运输、赔许等过程丰不发牛报5
坏，蚀及降低精度等烤况
JB/T8945-1999
7.1.2设备的包装上应有防水且不易脱陷的发货标志。设备的包装、运输作业标志应符合G卫19！的规定
7.2.3设备包装前，将设中的残余积水或废网清除干净，寸成保证密封面不受拟伤，对易锈金属必须采取防锈措施.
7.2.4隧机文件感包括浓箱单，出！合格证书，使用说明书等，H装在不透永的塑料袋内：7.3运输
设备的运输必统保证设备改其包装不发生损恢。设备在运输过程中有可能松脱的零、部件有龄措施。运输中应防止「[晒，雨胖和剧裂筛动。7,4 0存
设备感广存在相对湿度不超过90%的通风良好的场所，该畅所必须没有可引起病地的酸、减蒸气和气体存在。
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中华人民共和国机械行业标准
JB/T8945-1999
真空溅射镀膜设备
Vacuum sputtering coating plant1999-07-12 发布
国家桃械工业局
2000-01-01 实施
JB/T 8y45—5999
本标准由全国真空技术委员会提出并口。本标准起草单位：！东真空设备厂股份有限公司、上像点空系厂、沈阳真再室技示研究所本标准士要起草人：藜东锋、张选青，本春影、李卡英。范围
中华人民共和国机械行业标准bZxz.net
真空溅射镀膜设备
Vicuzm spulering cogtiag pluntJB/8945—1999
本标消规定了点空法射惑设备的型号和基不参数，技术要求。试小法。检验规则、标志，装，运愉和年等
本标准适用于力在1×10-5×10Pa范用的真孕贱射镜膜设备以下两你设各2引用标准
下列标准所包含的条文，道过在本标准市引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为右效。所右标准都会被整汀，使用本标准的各方成探对使用下列标准录新版本的可能性。GB11—1590
GB/160701995
GB:T 111641999
GR/T 13306J991
IR/T 1090-.1991
J/T I091—1991
JB/T 1092—1991
JB/T 7673—1995
3型号与基本数
包装储运图示称志
真空法兰
真空镀膜投各通用变术条件
1型真究用橡胶密封圈
型和骨架型真空用橡胶密封图型式及尺小0型点空用橡胶耐型式及尺十
真空设备压号编制开法
3.1设备的型号应符合JB门7673的规定，3.2设备的基本参整应符合表[的规定表 1 基本步数
愁数名称
努限正力
恢复真空抽气时向
升乐率
凝研电流空化中
家机械工业局1999-07-12批准
:5×10rl
从大气乐会710
其大气会 7 ×10 [a
± 5%
2000-01-01实施
4热术要求
4. 1没设备止带工作案件
4.1.1 温度：10-30:
4.1.2相对滤度：-小大于75%：
4.1.3冷起水进水温度：不高于25，8/8945-
4.1.4冷扫水质尽：城市自来水或质量排1当的水，4.1.5供电申源：380V，三相四线制，5UHz，电压浪范雨：361-399V，额率动范制：49-51H7.4.1.6环境：室内应整站；地面、大花板及效备州删塔壁应十净：空气清洁，不应有可！起电器及其他金具件表面商独或引起企消间导心的尘埃变气体存在4.2结均要求
4.2.！设备丰静、动涉封两的结料形式及尺小应符合GD6070和IB.T1090~1092的规定。4.2.1点空管其上和刨强室靠近排气口位置上应装没真空测试规管，分别阐阻各部位的压力。4.2.3加果设备以满扩敦泵或油扩胶喷射泵为主泵，应在儿进气一侧安装油蒸气拥集研。4.2.4膜室应设有规察窗、时在镀膜过程中发生射线的没备，观衰盘上成加装防射线情片。4.3制造所量
设备的影造质量要求按GB.T11164—1999中4.4，4.4安全防护要求
设备的安全防变求按164.[9中4.5。5试验方法
5.1极限透力
5.1.1试验条件
）镀麟室内为空载（即不改签镀物品：也不进行射），不得拆去设备正常工作时应安装的溅射源、件支器等部；
b）真空测型现首应装于膜室靠近气11位置二；）分许在轴气过程中用改备本身配有的而热或击装对键融室进行除气5.1.2谢试方法
按G日11164—1999中的2.2
5.1敏膜室嵌效点空抽气时而
5.2.1试验条性
接 5.1.1.
5.2.2测试方法
按GB11164—1999的52.2.
5.3升压
5. 3. 1试验案件
按5.1.1。
5.3.2试验方法
按G/1641999的5.3.2
5.4既射电流的变化率
JI/T 8945-1999
设备在链膜过中，阴提稳定工作后：测得碑息电流在3m税周内（若蚀膜过程少于3mn，则在整个膜过程内！的变化值，并按下式计算变化牵；班
武中：长
遵射电流的变化率：
Farnt - min
fon + fmin
Im正常工作对实测最大溅射电流位，A—正音工作时空测最小殊射电流值：5.5测用仅表设备
5.5.1测毒越限压力，镀膜室恢复真空抽气时间，升压率所使用的真空计应为设备本身配查者，并应在有效期限内
5.5.2测盘溅射电流的变化率所用的电流表成为投备本身配密者，并应在有效期内。6，检验规则
6.！每户设备内领经制造厂盾盘检整部门腰本标准及有关技术文性进行检验，检检合格的投备应附有检验部及检验人员签字的产品合格书方能出」6.2设备的检验分为出厂检验和式抢验6. 2. 1出,一埃验
出！检验成逐竹进行，其检验内等包括3.2及GB/T11164-1999中6.5【除42.1以外）的全部内窖。
6.2.2型式稳验
设备的型或检验项月为3.2及G月T11164中的4.4.4、4.4.6、4.5的全部内穿6.2.2.！设备属于下处情况之一时，应逆行型式检验a）试制的新产品：
b）达奇在设，1艺或材料有重大变史时：c）同类产品的评比定级时；
：求世卫产只每年进行一次定明抛查，每次抽查谚批的15%（不得少于2台），始有一项不合将，购应重新抽联如倍数见的产品进行享扮，如仍有不合格，则进行避台恰验，6.3柠确时的检验方法按第5章的规定进行，7标志包装、运输和贮存
7. 1 标志
每行设备应存儿防显邮位装设标单，标牌成符合（B/13306的规定。其内零应包括制造厂商标」名、地址、设备名称、型号，出厂编号和出厂甘期等，7.2包装
7.2.1设各包装应取防露、防潮，防南等挡施，以确保设备在装卸、运输、赔许等过程丰不发牛报5
坏，蚀及降低精度等烤况
JB/T8945-1999
7.1.2设备的包装上应有防水且不易脱陷的发货标志。设备的包装、运输作业标志应符合G卫19！的规定
7.2.3设备包装前，将设中的残余积水或废网清除干净，寸成保证密封面不受拟伤，对易锈金属必须采取防锈措施.
7.2.4隧机文件感包括浓箱单，出！合格证书，使用说明书等，H装在不透永的塑料袋内：7.3运输
设备的运输必统保证设备改其包装不发生损恢。设备在运输过程中有可能松脱的零、部件有龄措施。运输中应防止「[晒，雨胖和剧裂筛动。7,4 0存
设备感广存在相对湿度不超过90%的通风良好的场所，该畅所必须没有可引起病地的酸、减蒸气和气体存在。
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