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JB/T 9125-1999

基本信息

标准号: JB/T 9125-1999

中文名称:立式涡轮分子泵

标准类别:机械行业标准(JB)

英文名称: Vertical turbomolecular pump

标准状态:已作废

发布日期:1999-07-12

实施日期:2000-01-01

作废日期:2008-02-01

出版语种:简体中文

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标准分类号

标准ICS号:流体系统和通用件>>23.160真空技术

中标分类号:机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

关联标准

替代情况:替代ZB J78015.1-1989;ZB J78015.2-1989;被JB/T 9125-2007代替

出版信息

页数:9 页

标准价格:14.0 元

相关单位信息

归口单位:全国真空技术标准化技术委员会

标准简介

JB/T 9125-1999 JB/T 9125-1999 立式涡轮分子泵 JB/T9125-1999 标准下载解压密码:www.bzxz.net

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标准内容

[CS23,160
中华人民共和国机械行业标准
JB/T 9125—1999
立式涡轮分子泵
Vertical turbomolecalarpump
1999-07-12发布
国家机械工业局
2000-01-01实
JB/T125-199
本标准尼对ZD6015.1-89V式祸轮分子泵型式与基本参数》和ZBJ78015.2-89立式涡轮分子录按术条件》进行的修订、修订时,对原标准作丁编东性修改,主要技术内容设有改变:标准自实施之日起代替BJ7015.1—和2B178015.2289,
本标准出全国其空投术标准化技求委员会提山并归日。本标胜起草单位:沈阳真空技术研究所、南光机器厂。本标准土要起草人:李主英、李寿彬,冯蓝生。本标准下[989年首次发布。
1范围
中华人民共和国机械行业标准
立式涡轮分子泵
Verticalturha molecalarpump
JB/T9125—1999
代告2DJ78015.1-R
ZB J78 015.29
本你准规定了立式涡轮分子泵的型式,战本参数,报求要求,试验力法,检验规则,标志、包装,运输和财存等。
标准适用于具有前级泵,变频电源的立式满轮分了录(以下商称要1。2引用标准
下列标准所包序的祭文,通过在本标准中引用而构成为本标推的条文,本标准出版时,所示版均为有效,所有标准都会被悠订,使用本标准的各方应探讨使用下测标准品新放本的可能性GB19T—1990
GB/T4987—1985
GB/I6070—1995
GBT 6071... 1985
GBT 6587.1-1986
GR/T6587.2—1986
GR/T6587.3—1986
GB.T6587.41986
GB/T6587.5—1986
GB/T6587.61986
GBI'77741987
GB.:133061991
JB.T 5278—[991
JB.TB106—1999
JB/T B[07—1999
3定义
本标准采用下列定义。
3.1抽气速率
包装储运图示标志
夹紧型真空快卸法兰
真空法兰
超高真空法兰
电子测量仪器
环览试验总期
电子测量仪器
温度试验
电子测量仪器
湿度试验
电子测盈仪器振动试验
冲击试验
电子测量仪器
电子测量仪器运输试验
涡轮分子案性能测达方法
丝密封可姚烤真空法兰
容积真空案媒声测方法
容积点空采振动烈量方法
泵在正带工作条件下,单位时间内被抽气体通过测试型流经分手案进气!1的体积,即气体流造与独试尊规定位置测得的平衡压力之商。3.2极限压力
国豪机械工业属1999-07-12批准2000-01-01 实施
JBT9125-[999
泵在规定的工作条件下,不向测试罩引人气体,壳和测试罩经烘烤后48内在测试罩现定位置測得的平衡压小。
3.3乐缩比
通过泵进气口的气流盘为半,被抽气体在前级区的分压力至少占全行的如%以上,系的前级用力与进气1压力之比为分子泵对该气体的乐缩比。3.4起动时间
从接通电源起到系转速达到额定转速的90%斯需的时间。4 型
4[型号表示方法
4.2标记示例
抛气速率,155
进气口通径,mm
立式涡轮分子泵,用F表示
进气口通径为100mm,抽气速率为220Lts的立式满轮分子录,标记为:F-100/2205 基本参数
象的基本参数如表1所示
抽气速率
极限压力
压缩比
起动时间
维户2
进气门通径
F-100/110
F-100/230bzxz.net
F-160/450
F-250/14
3 × 0
F-32020010
F-400/35Kl
出州口通径
电源人电法
电源消耗功率
电源起动功审
F-E00/110
JB/T9125-1999
表1【完】
F-100/220
F-160:450
P-250门4K
F-32U240U
220±10%(5WH=)或380+10%(50H)220
电消以下种类型:
a)电子模拟式科动变频电源,
b)微机器控式自动变频电率。
c)电机查式电面。
6技术要求
泵的主要技术性能应符合衰1和接规定程序批准的这计求。5.1
6.2系在下列环魂条件下应能此需工作:a)环境温度为3-40
b)气相对翘度小于85%
冷却水进水温度不高十25下
F400:3500
。.1泵应避免抽除带粉尘、腐阅性感速炸性气体,录在正常运转时不充诈直接引入大气,不充许有强裂径南振动、
6,4为了除气目的,对泵壳,试罩和真空测盘规肾进行烘烤,其烘烤温度不得超过以下规定:a)泵体及泵壳上法兰:120℃;6)试罩破真空容器:300℃
)有空测微规官:400℃。
推荐前级系放符合赛2要求
分于求的抽气建布
娠察的轴气连率
削级斥力
JB/T9125-1999
6.6泵的进气口连接法兰及密封用应符合GR/下G071和JB/T5278的概定。6.7泵时出气口连接达及封网应符合GB个4982和GR/T6070的规定。6.B为了防止异物萍人泵内,泵的进气口应设置耐满蚀金属过滤网,并加以固定:6.9泵应在明壶位设查半机运转力向的指示标牌。610泵应来用专用油、贴润滑,其饱和蒸气压在带溢下不摄尚下3×10*Pa6.11冷却水流量成符合设计要求,日具有保护装置6.12系的电动机和烘烤装置对泵壳成有可样的绝缴措施,其绝嵌电阻不小于2M2,6.13电源输出电篇不应大T设计图样规定值,具有保护措施,6.14电源输出的兰相绒电压应对称,其不对称性不得超过土0.5V。6,15主机和电源在正带工作条件下的半均无枚障工作时间(MTBF)应达到以下要求:主机:8000h
电源:22000h
了试验方法
,极限压力测试
投限压力的测试应符合GB了4的规定。7.2压编比测试
7.2.1压缩比的测试装互,除符GBT7774规定外,应设置质量数为1~100的真有足龄分辨率的质谱分压。
7,2.3压地比测试所用气体为氮气【N,)和套气(H,),其纯度应在99.9%以上。7.2.3压缩比的试方法成符台GBT7774的规定。视试氮气的压端比时,还应来用感谱分压选行监测。
7.3抽气速率测试
抽气速率的试虚符合GB.T7774的规定。7.4起动时间测试
起动时间润试应符合GBT7774的规定。7.5据动测试
7.5.1泵应牢固地固定在测性测试渠上,测试染的重盘应人于皱测票重量的4倍。7.5.2:泵的出气11与前级泵之间应采用金质波纹情或真空橡胶软管违接、7.5.3泵正常运转1h后,按JB/T8107规定方法测量泵的据动。测量位直为图1所示A、B、C、D、上.F各点。
7.6声测定
[9125—1999
2.6.1余的安装应符合7.5.1和7.5.2的要求,测
7.6.2泵正常运转1h后,前级泵停止逻转,立即接JB/TB106规定力法测量系的赚声。7.7转速测试
7.7.1票的安装应符合7.5.1和7.5.2的要求7.7.2泵止宽运转1h后测试泵的转速。测量软速时,用测振仪在家的上下差沿径向圆周上各测点振幅蜂俏,并以最大峰值的频率表示泵的转速值。7.8电源测试
7.&1电源与土机配套试车时,用席规仪器检查输出三相继电压是节符合6.14的要求7.$1电源与主机配套试车时,用带规仪器抢变电源各费是再符合设计图样要求,7.8.3电源的环境试验按G月/T6587.1-6587.6—1086规定的第组类进行试验。7.9半均光放障工作时间试验
主机和电源的平均无故院下.作时闻用近3年内试险报告或用户使用报告(连续或累计运转时间)考核。
7.10连继运转试验
主机与电源配套试车启,应进行连续500h运转试验。8检验挽则
8.!泵【包括主机和电谢)必须经过制造厂梳验部门检验合格,井具有质量合格证力能出厂。8.1要的检验分出厂检验和型式检验,8.2.1出厂检验必逐台进行,出厂检验项目包括)外观屑盘;
b)连接尺止及出封面盾量:
c)安全保护装置的可靠性:
d)极限压力;
e】据动;
f)电源数;
)产器成套性。
JB/T:9125—1999
8.2.2、凡新诚制的产品或在产品结构、制造工艺、使用材料等方面有单大收变时:应进行型式检验型式检验到目包括:
a)出广“检验的所有项目:
b)压缩比;
)抽气速率
d)起动时间:
e)噪声;
f)环境试验;
)运转试验。
8.2.3型式检验:每批摘5%,但不少于2台。如不合格,应加倍抽格,再不合格,检查全部产品。9、标志、包装、运输和哒存
2,1每白成在明能位置装有产品标牌,标牌的型式及尺寸应符合GB/T13306的规定。产品籍牌至少应注明以下内容:
a)产品型号及规格:
b)制造」」名:
e)产品编号及制造口期。
9.2票包装前应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的润滑游,并将泵的进气口和出气口用益板封严。
9.3卡机和电源包装时,先用塑料薄膜罩封,再用发泡型料封装后装入包装箱内:成用塑料薄膜罩均后直接装入包装等内用软喷材科境充,并加以固定封中。电源用型料游膜罩封时应放入十燥剂(如硅胶
.4包装箱外应有贮运图示标志,其标志应符合GB91的规定,9.5包装箱应适合铁路,公路、内河航运和航空污翁。在运输和存敢过视中不允许有剧烈报动和倒置,如对包装箱有特殊要求,按有关规定办理。9,6主机和电源应存在通风条件良好的室内。系的存期一般不超过6个月,如超过6个月:应定期并箱检禁。
9.7每台票出厂时应附有下列文件:)产品说明书:
b)产品合格证;
)装着单。
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