基本信息

标准号： JB/T 5631-1991

中文名称：半导体器件外延炉 能耗标准

标准类别：机械行业标准(JB)

标准状态：现行

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

出版语种：简体中文

下载格式：.rar.pdf

下载大小：KB

相关标签： 半导体器件 外延 能耗

标准分类号

中标分类号：机械>>机械综合>>J01技术管理

关联标准

出版信息

出版社：机械工业出版社

页数：4页

标准价格：8.0 元

出版日期：1992-07-01

相关单位信息

起草人：赵伟、郭瑞春

起草单位：国营北京七七四厂

归口单位：机械电子工业部机械标准化研究所

提出单位：机械电子工业部生产司

发布部门：机械电子工业部

标准简介