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SJ/T 10535-1994

基本信息

标准号: SJ/T 10535-1994

中文名称:半导体器件用钨舟

标准类别:电子行业标准(SJ)

英文名称:Tungsten boat for semiconductor devices

标准状态:已作废

发布日期:1994-08-08

实施日期:1994-12-01

作废日期:2010-01-20

出版语种:简体中文

下载格式:.rar.pdf

下载大小:KB

标准分类号

中标分类号:综合>>标准化管理与一般规定>>A01技术管理

关联标准

出版信息

页数:5页

标准价格:8.0 元

出版日期:1994-12-01

相关单位信息

起草人:候伍满、韩艳芬、茹士臻

起草单位:七四五厂、电子工业部标准化所

归口单位:电子工业部标准化研究所

提出单位:电子工业部标准化研究所

发布部门:中华人民共和国电子工业部

标准简介

本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。 SJ/T 10535-1994 半导体器件用钨舟 SJ/T10535-1994 标准下载解压密码:www.bzxz.net
本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。


标准图片预览






标准内容

中华人民共和国电子行业标准
SJ/T 10535 94
半导体器件用钨舟
Tungsten boat for semlepndluctor devices1994-08-08发布
1994-12-01实施
中华人民共和国电子工业部
中华人民共和国电子行业标准
半导体器件用钨舟
Tuagstea boat tar semicanductur devices1主题内容与适用范围
SJ/T1053594
1.1本标准规定了半导体器件用销府的牌号,型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志,包装、运前改产存、
1.2率款准适用于耐尚温、自纯度、出密的链板(片)材制作的各种形状件鸣舟及工装内血,2引用标准
CH3875
GE4181
GB4196
悄、期条密度测定力然
GB4342.1~,3u的化学分析法
3产品分类
3.1鸽舟牌号,以\钙\\舟\两安的双评价存字母WZ命名32离舟的型号:钨舟型导用\V\,“U\表示,其中每型号下的不同种类用1、、..表示,如V-1表示V型有压边,V-1表示无压边(见表1),3.3销舟规格用整字表示如-3-15.其中03表示身壁厚度,\15表示盘宽,3.4钨舟牌导.型号,种类与规格示例,Wzo -Y*TX-Y
中华人民共和国电子工业部
(w70-v-[-03-[5)
盘宽(mm)
舟壁厚(mm)
钙舟种类
鸭疾塑号
1994 08 0白批准
1994·1201实
S.1/T 1053594
示牌号为W20,型无与边,盘厚度为0.3n1m,年宽为15mm的府。3. 5 书舟牌号,型号与用途见表 1 ,!
型号了种大
V-无底
u-1,医型
U-N医忘
4技术要求
4.1比学成分
会属及工金民、真京誉锂,电子审测收器键,金属材料高祖运火、烧约,出美充器性,学至范、格学家面层、真台材料用划化学成芬拨心B4181中w,牌专。4.2就格尺寸
规情尺寸接表2虾有特殊要求可尚放方协商)表2
投观陷
w v +
W20-7--5-26
W2O.V. -36-3
wZ0-V-[-03-15
WA()-V-1 -03-U5
W20.V.1-03-
wz0-1--1-03-16
w2-U-33-2
W2()-U- ±-24-16
WZ0-l:- R-u-25
W20-L-N-03-29
w20-11- N-24-24
1.3声度
金同的满为15.g/en
4.4语个
4.5块点
熔点为3390宝:
4.6表面量
50-119
2. 5 -- 3
SJ/T10535—94
4.F1钨舟序活净,号铺口负金承光,众许舟血表画有轻微的氧化色但不得有人南职深及黑班点,电解潜光盘充许有小于211m*面积前末对光点-处,4.62坞舟表面不应有开裂、分层,免裂、缺边及角取,册的各种部位不应有毛制。4.7需理外带
承制方选用的的板的物理性能应符合互3BT5的要求。5试验方法
5.1舟的北学饿分4.1条按342.1-.中有关标准过行分析。52旁典的规期尺寸4,2条用情度为0.02mm和0.0mm的下尺和于分尺排行测量5.3的所度4.系按4196进行测
5.4他舟的重录-个)4.4条用感最为(1,2g的人平进行称量。5.5够盘的咨点4.杀的别量,在势盘化学成分合格的年性下可以不进行测坚5.6鸭舟的表面质量.6条用目期选行检查。6检验规
6.1检验批
按轻批必须国间一成分、同一三些、连续生产的同一税类并产品组成,6.2享收检验
6.2.1产品应中方检验部门按车标准安求进行接监+证产品符合本标准政学求。6.2.2需力在收到产品之日芯,两个月内胺本较准世衍验收,如采复验结果与本标准规是不符合时.面供需双方协商解决,
6.3抛举方策与判定规则
63.1化学成分的检验·在存一批料中随机抽政·-个样品进行化学放分的分折,如不符会要求,另加信取样进行分析,取其平灼值,如仍不符合要求,则该批料为不企格。6.3.2钨舟的规格尺于逆行尽分之进的检验。63.3件舟的帮遵的检验:在每-批料中收-个试详进行客息测量,妇果不合,则倍收样进行测定,如其中两样品不合格,则滚批料齿不合格、63.4妈东单个重量的险控以100只府血中随机抽报一个详品进行测定,妇本合格,圳三取进行侧定,如采兰个试样中,有网个不合格,则该10只将血为不台格。6.3.5为的表通用视进行百分之百的控验,了包装,标志,运输与贮存
7.1包装
验验合格的的册,年10只月牛皮纸包惠情止表业作随断,然所排将入塑料整让每就装21包,每4盒装人木稳,陷内充以防震纸产后-皮包礼.7.2钢志
7.2.1内包蒙金内应南有标签或产品合格证并米明::村样名称
h.生产址号;
规格尺:
效签:
检验部门记.骏是印章bZxz.net
生产日期,出」日期:
制道厂名称.
SJ/T10535—94
产品外包装箱工超贴上标牌并注明:制洗!-名称:
产品名称及规格:
产品批号:
产品数盘:
出厂日期。
7.3运猫与胜存
7.3.1运输
本产品可用任何运输工具运物,在造啦中法衰小心轻放,防旺,防指,药雨蛋,防冻,开收置在乎探通风的地方,
7. 3.2 贮存
发运前驼存期不应超过20.钨舟应效置在7煤随风的货渠上,室内度不得低于35T,相对湿度不大干65,且无酸,及有害气体。附加说明:
本标准由电-工业部标准化研究所辽口。本标准由心四五厂,电于工业部标推化所负资起草,木梯难主要起草人惯伍满、郭艳芬、茄士球、
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