本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则。本标准适用于电子器件生产和清洗用水。 GB/T 11446.1-1997 电子级水 GB/T11446.1-1997 标准下载解压密码：www.bzxz.net

GB/T 11446.1—1997
本标准是对GB11446.1-89《电子级水国家标准进行修订。原标准（GB11446.1是参照1983年ASTM委员会电子级水规范草案及D1193—77（82)试剂用水规范制定的。随电子工业、微电子下业的速发展对电子级水的质量要求更严格。美国从1991年开始，颁布了新的ASTMD5127—90电子级水规范并沿用至今我国原标准GB11446.1与1995年ASTMD512790电子级水规范相比，标准技术内容中缺少金属镍、硝酸根离子，磷酸根离子、硫酸根离子、细菌内毒紊的技术指标，另外，由于当时我国分析于段的局限性，其中颗粒，细菌、总有机碳等技术指标水T规定得较低,因此与ASTMD5127一90电子级水规范水平相比有一定差距,已不能满足电子工业发展的需要。为此，我们非等效地采用美国1995年ASTMD512790电子级水规范。本标准将原电了级水级别由5级改为4级，技术内容增加了金属镍、硝酸根，磷酸根、硫酸根等指标；删去了1995年ASTMD5127—90标准中末规定的金属铝、铁、钙技术指标，提高了颗粒利细菌的指标要求；增加了有关水的词汇，同时考虑到月前我国实际情记，这次修订时没有规定细菌内毒素的指标和检测方法。
本标准从实施之Ⅱ起同时代替GB11446.1—89本标准由中华人民共和国电子工业部提出。本标准由电子工业部标准化研究所口。本标准起草单位：中国科学院半导体研究所、电了工业部标准化研究所。本标准主要起草人：闻瑞梅、李晓英、十在忠、间桂珍。..com1范围
中华人民共和国国家标准
电子级水
Electronic grade water
本标准规定了电子级水的级别、要求，试验方法和检验规卿，本标准适用于电子元器件生产和清洗用水。2引用标准
GB/T 11446. 1-1997
代替 CEB 11416. 1--89
下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文，本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。CB/T11446.3—1997电子级水测试方法通则GB门11116.1—1997电子级水电阻率的激试方法电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.5--1997E
GB/T 11446. 6—1997
电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离了仙谱GB/T 11446. 7—19971
测试方法
GB/T 11446. 8—1997
电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446. 9—1997
电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T11446.10—1997电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3定义
本标准采用下列定义。
3.1电子级水electronicgradewater制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水。3.2电阻率resistivity
在规定温度下，1cm水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号p表示，单位为α·cm纯水的理论电阻率为 18.3 Mn ·cm(25℃),3.3全硅 total ailicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。3.4可溶性硅soluble silicon
以单一分子状态存在丁水中的溶解性硅酸盐。3.5微粒性物质granularmatter
除气体以外，以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质。3. 6总有机碳(TOC)total organic carhon水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧国家技术监督局19970901批准
1998-09-01实施
化的有机物。
3.7吸附alisarplion
GB/T 11446.1—1997
某些多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的能力。3.8凝聚coagulatian
在源水中加入某种电解质后,水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷巾和,从雨使其聚集成较大颗粒而沉障的现象
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在定条件下相五碰撞而集结为絮状沉淀的现象。案凝一般是在凝聚作用后缓慢进行，可除去水中细的微粒，
3.10砂滤器sand filte
用于盛放不同直径的砂粒，以除去源水中感浮体和泥浊物的装置。3.11活性碳过滤器activated carbon filter装有粒状活性碳的过滤器，用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯。3.12离子交换ionexchange
一种不溶性物质与一种液体之间相互交换离了的可避过程,该过程中物质并无实质性结构变化。3.13去离子水deionized water
经过离子交换处理.除去了呈离子形式的杂质的高纯水。3.14再生rcgencration
离子交换过程操作循环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢复交换能力。
3. 15 复合床complex bed
特阳离子交换脂和阴离子交换树脂分别装入两个离子交换柱中,将两社串联，使水依次通过两个柱而被纯化复合床处理水的纯度吊不及混合床，但操作较简单。3. 16 混合床 mixed bed
阳离子交赖树脂利阴离子交换树脂混台均匀，填充于同一离子交换柱巾，其纯化效果相当下许多组合床申联使用，出水质量好但再生比较麻烦。3.17电渗析electrodialysis
一种分离水中离子的方法，在电渗析器中，阴阳两极之间用交替排列的阴、阳离子交换膜分隔成一系列小空。水流通过小空时，在直流电场作用下，水巾阳离了向阴极方向移动，但不能通过阳膜;阴离子则相反。这样戴形成相间荐在的液、淡水室而送到提纯水的甘的3. 18 反渗透 reverse osmosis亦称逆向渗透，一种利用渗透原埋进行分离的方法，珂半透膜将浓水和淡水隔元，并在滚水上施划比渗透压更强的机玉力，则浓水中人部分水透过半透膜而杂质仍在其中,达到分离提纯的目的，3.19反渗透膜reverse osmosis memhrane用于反渗透法制备纯水的一种台成薄膜，其孔径一般为0.02um或更小.可用了除去尤机离子，有机物、细菌等.使水纯化。
3.20微孔膜滤器membrantfilter---种半均孔径（吉径)大于0.01 um的薄膜，能把大于平均孔径的微粒截留在其衰而或附近。3.21 超过滤ultrafiltration
-种过滤方法，在定压力下使水流通过超燃膜以除去水中的级细徽粒、胶体和细菌等。3.22终端terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后·水的出口或使用地点。..com4分类
GB/T 11446.1
4.1电子级水分为四个级别：1级、I级、I级和N级。4.2标记
I级电子级水标记为：EW-I；
I级电了级水标记为:EW-Ⅱ；
级电子级水标记为:EW-I；
N级电子级水标记为:EW-。
5要求
电子级水的技术指标应符合表1的规定表1电子级水的技术指标
电组率
MQ.cm(25r)
全硅，最大值，#&/Lwww.bzxz.net
>l μm 微粒数,最大值,个/ml.
细菌个数,最大直,个/mL
制，最大值g/L
锌，最大值pg/L
，最大值，pg/L
销，最大值·pg/L
钾，最大值,g1
氯，最大值+ug/1，
硝酸根，最大值·
磷酸板.尽大值，ug/L
蔬酸根,最大.μg/1
总有机碳，最大值，B/
6试验方法
6-1电阻率
Ew-［
（9时间）
不低于了
(93%时间）
不抵于13
电子级水的电阻率按GB/T11446.4—1997的测试方法进行测定。6.2全硅含量(以二氧化硅计)
电子级水全硅（以二氧化硅计含量按GB/T11446.6—1997的测试方法进行测定，6.3微粒数
GB/T 11446.1-: 1997
电子级水中微粒数按GB/T11446.9—1997的测试方法进行测定。6.4细菌总数
电子级水中细菌总数按GB/T11446.10—1997的测试方法进行测定：6.5痕量金属含量
电子级水中痕量金属的含量按GB/T 11446.5—1997 的测试方法进行测定6.6氯离子、硝酸根离子、磷酸根高子、硫酸根离子的含量电子级水巾氮离子，硫酸根离子，硝酸根离子,磷酸根离手等阴离子的含量按GB/T11446.71997的测试方法进行测定。
6.7总有机碳含量
电子级水中总机碳含最按GB/T11446.8-1997的溯试方法进行测定。7检验规则
7.1梭验部门
电子级水的检验均应在制造厂的水质检验部门进行。7.2检验分类
电子级水的检验分为交收检验和例行检验7.3交收检验(抽验项目)
7.3.1电子级水技术指标中电阻率、钠离子、企硅(以二氧化硅计)为交收捡验项目。7.3.2在用水终端采样试验后检验结果如有一项不合格时,应再次采样进行检验，如仍有一项指标不合格，应提出改进措施直到水质合格7.4剃行检验（全检项目）
例行检验每年进行一次，当制水条件发生变更时也应进行例行检验。7.4.1检验项口为表1规定的全部技术指标要求。7.4.2在用水终端采样后进行例行检验，检验结果如有一项以上不合格时,应再次采样进行检验，如仍有一项以上指标不合格，应提出改进措施直到水质合格。8采样、贮存、运输及标志
8.1电子级水的采样贮存运输按GB/T11146.3—1997的规定。8.2标志：在用水终端采样进行检验时,水质合格后应有检验合格证，合格证应注明：a）名称及级别；
b）各项技术指标；
r）制水单位：
d）供水日期；
e）检验员签章及检验日期：
小提示：此标准内容仅展示完整标准里的部分截取内容，若需要完整标准请到上方自行免费下载完整标准文档。