ICS 77.120.99 H68 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 837—2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies 2012-11-07发布 中华人民共和国工业和信息化部 2013-03-01实施 发布 前言 本标准按照GB/T 1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。 本标准主要起草人：刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。 1 范围 本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等内容。该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。 本标准适用于采用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件；凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有修改单）适用于本文件。 GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T 9445 无损检测人员资格鉴定与认证 GB/T 11259 无损检测超声检测用钢参考试块的制作与检验方法 GB/T 12604.1 无损检测术语 超声检测 GB/T 17421.1 机床检验通则 第1部分：几何精度 GB/T 17421.2 机床检验通则 第2部分：数控轴线定位精度和重复定位精度 GB/T 18400.6 加工中心检验条件 第6部分：进给率、速度和插补精度检验 GB/T 18694 无损检测 超声检验探头及其声场的表征 GB/T 18852 无损检测 超声检验测量接触探头声束特性的参考试块和方法 GJB 1580A 无损检测 变形金属超声检验方法 GJB 9712A 无损检测人员资格鉴定与认证 JB/T 8771.4 加工中心检验条件 第4部分：线性和回转轴线的定位度和重复定位精度检验 JB/T 9269 工业控制计算机系统安装环境条件 3 术语和定义 GB/T 12604.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 超声波 频率超过人耳可听范围的声波，一般下限为20 kHz。 3.2 纵波（压缩波） 在介质中传播时，质点振动方向与波传播方向平行的声波波型。 3.3 探头（probe / search unit） 电-声转换器件，用于发射或接收超声波的换能器组件。 3.4 焦距 聚焦探头从焦点到声源的距离。 3.5 增益 对电路或系统信号放大程度，通常以分贝（dB）表示。 3.6 闸门（时间闸门） 用于选取时基线特定时间段信号进行监测或处理的电子窗口。 3.7 平底孔（FBH）/圆盘缺陷 圆盘形平面反射体。 3.8 对比试块 与受检材料相似并含已知参考反射体的试块，用于校准和对比超声检测信号。 3.9 C扫描显示 按探头扫描位置显示受检件二维平面内回波幅度或声程分布的成像方式。 4 一般要求 4.1 人员 从事溅射靶材-背板结合质量超声C扫描检验的人员应符合GB/T 9445或GJB 9712A相关资格要求，并具备水浸超声C扫描检测经验。 4.2 待检验工件 4.2.1 靶材与背板结合方式应为平面结合，且至少一侧平面与结合面平行，以便作为检测面。 4.2.2 检测面表面粗糙度Ra不大于3.2 μm。 4.2.3 检测前工件应进行预清洗，确保检测面及背面无氧化皮、加工残留或其他异物。 4.2.4 本方法规定为非破坏性检测方法。